美国颇尔 PALL MCY1001J045J 微电子级润滑油滤芯，采用颇尔纳米玻璃纤维复合滤材，过滤精度 45μm，β₄₅≥200，专为半导体

 

美国颇尔 PALL MCY1001J045J 微电子级润滑油滤芯，采用颇尔纳米玻璃纤维复合滤材，过滤精度 45μm，β₄₅≥200，专为半导体、电子制造设备润滑系统设计，可高效去除润滑油中的金属磨粒、微尘、胶质，保障精密轴承、导轨运行安全，避免微颗粒污染晶圆与电子元件，契合微电子行业超净、安全、环保要求。该滤芯初始压差≤0.04MPa，最大工作压差 0.35MPa，耐温 - 20℃至 100℃，全聚丙烯结构，无金属溶出、无纤维脱落，符合微电子超净标准，适配半导体光刻机、刻蚀机、封装设备润滑系统。颇尔 PALL MCY1001J045J 微电子级润滑油滤芯出厂经 100% 颗粒度过滤效率测试、溶出物检测、流量压差试验，确保超净性能。安装时清洁超净润滑过滤器壳体，垂直安装，密封采用 EPDM；调试阶段低速启动润滑系统，排净空气，记录初始压差；运行中定期监测压差与油液颗粒度，压差达 0.2MPa 或颗粒度超标时更换，旧滤芯按微电子危废规范处置，保障润滑系统超净、安全、环保。